1、蒸汽型空化对污物层的直接反复冲击，一方面破坏污物于清洗件面的吸附，令一方面也会引起污物层的疲劳破坏而与清洗件表面脱离。

2、存在于液体中的微气泡（空化核）在声场的作用下振动，当声压达到一定值时，气泡将迅速变大，然后突然闭合，在气泡闭合时产生的冲击水波能在其周围产生上百兆帕的压力，破坏不溶性污物而使它们分散在清洗液中。

3、对于有油污包裹住的固体粒子，由于超声空化的作用，两种液体在界面迅速分散而乳化。固体粒子即行脱落。

4、气体型气泡的振动对固体表面进行擦洗，污物一旦有缝可钻，气泡酒可以“钻入裂缝中作振动，使污层脱落。例如工件上的氧化层酒可以比较轻易被气泡剥离。

5、超声空化在固体和液体界面上锁产生的告诉微射流能够出去或削弱便捷污层，增加搅拌作用，加快可溶性污物的溶解，强化化学清洗剂的清洗作用。

6、空化气泡本身在振荡过程中，将伴随着一系列二阶现象发生，如辐射扭力。辐射扭力在均匀液体中作用于液体本身，从而导致液体本身的环流，即称之为声流（streaming）。这个声流可以作用于量级较大的范围，也可限于微米量级较小的范围内，后者常被称为微声流，它可以使振动气泡表面处在很高的速度梯度合黏滞应力，这种应力有时高达100Pa以上，足以使工件表面污物造成破坏而使其脱落。